刻蝕技術(shù)，是在半導體工藝，按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù)?？涛g技術(shù)不僅是半導體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還應用于薄膜電路、印刷電路和其他微細圖形的加工?？涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。普通的刻蝕過(guò)程大致如下：先在表面涂敷一層光致抗蝕劑，然后透過(guò)掩模對抗蝕劑層進(jìn)行選擇性曝光，由于抗蝕劑層的已曝光部分和未曝光部分在顯影液中溶解速度不同，經(jīng)過(guò)顯影后在襯底表面留下了抗蝕劑圖形，以此為掩模就可對襯底表面進(jìn)行選擇性腐蝕。如果襯底表面存在介質(zhì)或金屬層，則選擇腐蝕以后，圖形就轉移到介質(zhì)或金屬層上。離子轟擊可以改善化學(xué)刻蝕作用，使反應元素與硅表面物質(zhì)反應效率更高。嘉興ICP刻蝕

濕法刻蝕是化學(xué)清洗方法中的一種，化學(xué)清洗在半導體制造行業(yè)中的應用，是用化學(xué)方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過(guò)程。其基本目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形，有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受到腐蝕源明顯的侵蝕，這層掩蔽膜用來(lái)在刻蝕中保護硅片上的特殊區域而選擇性地刻蝕掉未被光刻膠保護的區域。從半導體制造業(yè)一開(kāi)始，濕法刻蝕就與硅片制造聯(lián)系在一起。雖然濕法刻蝕已經(jīng)逐步開(kāi)始被法刻蝕所取代，但它在漂去氧化硅、去除殘留物、表層剝離以及大尺寸圖形刻蝕應用等方面仍然起著(zhù)重要的作用。與干法刻蝕相比，濕法刻蝕的好處在于對下層材料具有高的選擇比，對器件不會(huì )帶來(lái)等離子體損傷，并且設備簡(jiǎn)單。杭州干法刻蝕干法刻蝕優(yōu)點(diǎn)是：處理過(guò)程未引入污染。

工藝所用化學(xué)物質(zhì)取決于要刻蝕的薄膜型號。介電刻蝕應用中通常使用含氟的化學(xué)物質(zhì)。硅和金屬刻蝕使用含氯成分的化學(xué)物質(zhì)。在工藝中可能會(huì )對一個(gè)薄膜層或多個(gè)薄膜層執行特定的刻蝕步驟。當需要處理多層薄膜時(shí)，以及刻蝕中必須停在某個(gè)特定薄膜層而不對其造成損傷時(shí)，刻蝕工藝的選擇比就變得非常重要。選擇比是兩個(gè)刻蝕速率的比率：被去除層的刻蝕速率與被保護層的刻蝕速率（例如刻蝕掩膜或終止層）。掩?；蛲Ｖ箤樱┩ǔ６枷Ｍ懈叩倪x擇比。MEMS材料刻蝕價(jià)格在硅材料刻蝕當中，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕。

二氧化硅濕法刻蝕：較普通的刻蝕層是熱氧化形成的二氧化硅?；镜目涛g劑是氫氟酸，它有刻蝕二氧化硅而不傷及硅的優(yōu)點(diǎn)。然而，飽和濃度的氫氟酸在室溫下的刻蝕速率約為300A/s。這個(gè)速率對于一個(gè)要求控制的工藝來(lái)說(shuō)太快了。在實(shí)際中，氫氟酸與水或氟化銨及水混合。以氟化銨來(lái)緩沖加速刻蝕速率的氫離子的產(chǎn)生。這種刻蝕溶液稱(chēng)為緩沖氧化物刻蝕或BOE。針對特定的氧化層厚度，他們以不同的濃度混合來(lái)達到合理的刻蝕時(shí)間。一些BOE公式包括一個(gè)濕化劑用以減小刻蝕表面的張力，以使其均勻地進(jìn)入更小的開(kāi)孔區。按材料來(lái)分，刻蝕主要分成3種：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕、和硅刻蝕。

干刻蝕是一類(lèi)較新型，但迅速為半導體工業(yè)所采用的技術(shù)，GaN材料刻蝕工藝。其利用電漿來(lái)進(jìn)行半導體薄膜材料的刻蝕加工。其中電漿必須在真空度約10至0.001Torr的環(huán)境下，才有可能被激發(fā)出來(lái)；而干刻蝕采用的氣體，或轟擊質(zhì)量頗巨，或化學(xué)活性極高，均能達成刻蝕的目的，GaN材料刻蝕工藝。干刻蝕基本上包括離子轟擊與化學(xué)反應兩部份刻蝕機制。偏「離子轟擊」效應者使用氬氣(argon)，加工出來(lái)之邊緣側向侵蝕現象極微。而偏化學(xué)反應效應者則采氟系或氯系氣體(如四氟化碳CF4)，經(jīng)激發(fā)出來(lái)的電漿，即帶有氟或氯之離子團，可快速與芯片表面材質(zhì)反應。刪轎厚干刻蝕法可直接利用光阻作刻蝕之阻絕遮幕，不必另行成長(cháng)阻絕遮幕之半導體材料。而其較重要的優(yōu)點(diǎn)，能兼顧邊緣側向侵蝕現象極微與高刻蝕率兩種優(yōu)點(diǎn)，換言之，本技術(shù)中所謂活性離子刻蝕已足敷頁(yè)堡局滲次微米線(xiàn)寬制程技術(shù)的要求，而正被大量使用。物理和化學(xué)綜合作用機理中，離子轟擊的物理過(guò)程可以通過(guò)濺射去除表面材料，具有比較強的方向性。溫州反應離子束刻蝕

干刻蝕基本上包括離子轟擊與化學(xué)反應兩部份刻蝕機制。嘉興ICP刻蝕

在微細加工中，刻蝕和清洗處理過(guò)程包括許多內容。對于適當取向的半導體薄片的鋸痕首先要機械拋光，除去全部的機械損傷，之后進(jìn)行化學(xué)刻蝕和拋光，以獲得無(wú)損傷的光學(xué)平面。這種工藝往往能去除以微米級計算的材料表層。對薄片進(jìn)行化學(xué)清洗和洗滌，可以除去因操作和貯存而產(chǎn)生的污染，然后用熱處理的方法生長(cháng)Si0(對于硅基集成電路)，或者沉積氮化硅(對于砷化鎵電路)，以形成初始保護層?？涛g過(guò)程和圖案的形成相配合。廣東省科學(xué)院半導體研究所。半導體材料刻蝕加工廠(chǎng)等離子體刻蝕機要求相同的元素：化學(xué)刻蝕劑和能量源。嘉興ICP刻蝕

廣東省科學(xué)院半導體研究所成立于2016-04-07，是一家專(zhuān)注于微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)，公司位于長(cháng)興路363號。公司經(jīng)常與行業(yè)內技術(shù)專(zhuān)家交流學(xué)習，研發(fā)出更好的產(chǎn)品給用戶(hù)使用。公司主要經(jīng)營(yíng)微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等產(chǎn)品，我們依托高素質(zhì)的技術(shù)人員和銷(xiāo)售隊伍，本著(zhù)誠信經(jīng)營(yíng)、理解客戶(hù)需求為經(jīng)營(yíng)原則，公司通過(guò)良好的信譽(yù)和周到的售前、售后服務(wù)，贏(yíng)得用戶(hù)的信賴(lài)和支持。公司與行業(yè)上下游之間建立了長(cháng)久親密的合作關(guān)系，確保微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)在技術(shù)上與行業(yè)內保持同步。產(chǎn)品質(zhì)量按照行業(yè)標準進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn)，絕不因價(jià)格而放棄質(zhì)量和聲譽(yù)。廣東省科學(xué)院半導體研究所以誠信為原則，以安全、便利為基礎，以?xún)?yōu)惠價(jià)格為微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)的客戶(hù)提供貼心服務(wù)，努力贏(yíng)得客戶(hù)的認可和支持，歡迎新老客戶(hù)來(lái)我們公司參觀(guān)。

本文來(lái)自濟南金日和化工有限公司：http://www.tx777tx.com/Article/62d04099897.html